Computational Lithography

Sprache: Englisch

Verlag: John Wiley & Sons Inc, 2010

047059697X / 9780470596975

Serie: Buch 9 von 21 - Wiley Series in Pure and Applied Optics

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This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches. Series: Wiley Series in Pure and Applied Optics. Num Pages: 226 pages, Illustrations. BIC Classification: TJFC. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 242 x 163 x 18. Weight in Grams: 496. . 2010. 1st Edition. Hardcover. . . . . Books ship from the US and Ireland.

Bestandsnummer des Verkäufers V9780470596975

Titel
Computational Lithography
Autor
Xu Ma
Verlag
John Wiley & Sons Inc
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
New
Einband
Hardcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
047059697X
ISBN-13
9780470596975
Serie
Buch 9 von 21: Wiley Series in Pure and Applied Optics

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