CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet : Degradation Behavior and Damage Mechanisms

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2010

3642061524 / 9783642061523

Serie: Buch 1 von 17 - Microtechnology and MEMS

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - As the deep-ultraviolet (DUV) laser technology continues to mature, an increasing number of industrial and manufacturing applications are emerging. For example, the new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to image at increasingly shorter DUV wavelengths to facilitate inspection of deep sub-micron features in integrated circuits. DUV-sensitive charge-coupled device (CCD) cameras are in demand for these applications. Although CCD cameras that are responsive at DUV wavelengths are now available, their long-term stability is still a major concern. This book describes the degradation mechanisms and long-term performance of CCDs in the DUV, along with new results of device performance at these wavelengths.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783642061523

Titel
CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet : Degradation Behavior and Damage Mechanisms
Autor
Arokia Nathan
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3642061524
ISBN-13
9783642061523
Artikelgewicht
376 Gramm
Abmessungen
235x155x14 mm
Serie
Buch 1 von 17: Microtechnology and MEMS

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