Akustischer MEMS-Sensor auf Aluminiumnitridbasis | Entwurfssimulation und Fertigung

Aluminiumnitrid-basierte Sensoren beschreiben detailliert den Entwurf, die Simulation und die Herstellung von MEMS-Akustiksensoren auf AlN-Basis für die Messung hoher Schalldruckpegel, was sowohl für Forscher als auch für Studenten von Vorteil ist, die die Sensorherstellung besser verstehen und in der Sensortechnologie effizienter und produktiver werden wollen. In diesem Buch werden die Eigenschaften verschiedener piezoelektrischer Materialien im Detail verglichen. Es deckt die wichtigsten Merkmale der Halbleiterherstellungsschritte mit praktischen und theoretischen Aspekten ab, was Leser mit unterschiedlichen Interessen und Bedürfnissen ansprechen dürfte. Der Autor vermittelt wertvolles Wissen und Erfahrungen über die Entwicklung, Simulation und Herstellung von akustischen Sensoren. Zu den behandelten Themen gehören Design und mathematische Modellierung, Maskenlayout, Bulk-Mikrobearbeitung und Membranoptimierung, Maskendesign, Entwicklung und Optimierung von AlN-Schichten.