Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition)

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9783835102453: Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition)

Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik.
In der 5. Auflage sind neue Themen wie "Atomic Layer Deposition" hinzugekommen, das Kapitel zur PECVD-Abscheidung wurde ergänzt und High-k-Dielektrika in Herstellung und Anwendung wurden zusätzlich eingearbeitet.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Book Description:

Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik

About the Author:

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

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1.

Hilleringmann, Ulrich:
Verlag: Vieweg + Teubner Verlag; (2008)
ISBN 10: 3835102451 ISBN 13: 9783835102453
Gebraucht Broschiert Anzahl: 4
Anbieter
Petra Gros
(Koblenz, Deutschland)
Bewertung
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Buchbeschreibung Vieweg + Teubner Verlag;, 2008. Broschiert. Buchzustand: Gut. 5., erg. und erw. Aufl.. XIII, 338 Seiten; Der Erhaltungszustand des hier angebotenen Werks ist trotz seiner Bibliotheksnutzung sehr sauber. Es befindet sich lediglich ein Bibliotheksstempel im Buch; ordnungsgemäß entwidmet. Sprache: Deutsch Gewicht in Gramm: 430. Artikel-Nr. 1471367

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