Entwicklung Und Charakterisierung Von Mikrofonen in Siliziumtechnologie Mit Metallmembran (German Edition)

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9783832524791: Entwicklung Und Charakterisierung Von Mikrofonen in Siliziumtechnologie Mit Metallmembran (German Edition)

Diese Dissertation zeigt die Simulation, Herstellung und Charakterisierung des weltweit ersten mikrosystemtechnischen Zweichip-Mikrofons mit einer Metallmembran aus galvanischem Nickel mit der Moglichkeit zur Integration eines optionalen Elektrets aus Teflon. Das Gesamtsystem besteht aus einem Gegenelektrodenchip, einem Membranchip und einer hybriden Verstarkerstufe und wird in einem runden Aluminiumgehause platziert. Die Arbeit zeigt ebenso die Herstellung einer Membran mit hoher Nachgiebigkeit und gleichzeitiger Resonanzfrequenz zwischen 16 kHz und 20 kHz. Das Mikrofondesign sowie der dazugehorige Herstellungsprozess ist derart ausgelegt, dass die Integration eines optionalen Elektrets moglich ist. Durch die gezielte Resonanzfrequenz im oberen Audiobereich wird der gewollte nichtlinearer Frequenzgang erreicht, bei gleichzeitig reduzierter Empfindlichkeit gegenuber Bassfrequenzen.

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