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Sputtering by Particle Bombardment II: Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography - Softcover

 
9783662311684: Sputtering by Particle Bombardment II: Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography
Softcover
ISBN 10: 3662311682 ISBN 13: 9783662311684
Verlag: Springer, 2014

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Inhaltsangabe

and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Springer
Erscheinungsdatum
2014
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3662311682
ISBN 13 
9783662311684
Einband
Paperback
Anzahl der Seiten
412
Herausgeber
Behrisch R.
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Verlag: Springer, 2014
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