Technology of Integrated Circuits - Softcover

Widmann, D.; Mader, H.; Friedrich, H.

 
9783662041611: Technology of Integrated Circuits
Softcover
ISBN 10: 3662041618 ISBN 13: 9783662041611
Verlag: Springer, 2012

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Inhaltsangabe

1 Introduction.- 2 Basic principles of integrated circuits technology.- 3 Film technology.- 4 Lithography.- 5 Etching technology.- 6 Doping technology.- 7 Cleaning technology.- 8 Process integration.- References.

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Verlag
Springer
Erscheinungsdatum
2012
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3662041618
ISBN 13 
9783662041611
Einband
Paperback
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