Inhaltsangabe
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 (MRS Proceedings)
Verlag:
Cambridge University Press, 2014
ISBN 10: 1107408547
ISBN 13: 9781107408548
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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 (MRS Proceedings)
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Doping Engineering for FrontEnd Processing: Volume 1070 (MRS Proceedings)
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Doping Engineering for Front-End Processing : Volume 1070
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed. Artikel-Nr. 9781107408548
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