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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing - Hardcover

 
9780849311789: Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Hardcover
ISBN 10: 0849311780 ISBN 13: 9780849311789
Verlag: CRC Press, 2000

Inhaltsangabe

Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Über die Autorin bzw. den Autor

James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon M. Hurwitz

„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
CRC Press
Erscheinungsdatum
2000
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0849311780
ISBN 13 
9780849311789
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
348
Herausgeber
Moyne James, Del Castillo Enrique, Hurwitz Arnon Max
Kontakt zum Hersteller
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