Materials for Microlithography: Radiation-Sensitive Polymers (Acs Symposium Series) - Hardcover

Thompson, Larry F.; Willson, C. G.

9780841208711: Materials for Microlithography: Radiation-Sensitive Polymers (Acs Symposium Series)

Hardcover

ISBN 10: 0841208719 ISBN 13: 9780841208711

Verlag: American Chemical Society, 1985

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Details zur Ausgabe

Verlag: American Chemical Society
Erscheinungsdatum: 1985
Sprache: Englisch
ISBN 10: 0841208719
ISBN 13: 9780841208711
Einband: Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten: 494
Herausgeber: Frechet Jean M. J.
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Materials for Microlithography: Radiation-Sensitive Polymers (ACS Symposium Series)

Benson, John M. J.

Verlag: American Chemical Society, 1984

ISBN 10: 0841208719 ISBN 13: 9780841208711

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