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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering) - Hardcover

 
9780824799519: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering)

Inhaltsangabe

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

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Über die Autorin bzw. den Autor

Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito

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9781420001457: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

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ISBN 10:  1420001450 ISBN 13:  9781420001457
Verlag: CRC Press Inc, 1998
Hardcover

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Beispielbild für diese ISBN

Ito, Toshio, Nonogaki, Saburo, Takumi, Ueno
Verlag: CRC Press LLC, 1998
ISBN 10: 0824799518 ISBN 13: 9780824799519
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Nonogaki, Saburo (Author)/ Takumi, Ueno (Author)/ Ito, Toshio (Author)
Verlag: Marcel Dekker Inc, 1998
ISBN 10: 0824799518 ISBN 13: 9780824799519
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Hardcover. Zustand: Brand New. illustrated edition. 327 pages. 9.50x6.50x0.75 inches. In Stock. Artikel-Nr. __0824799518

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