Micromachining and Microfabrication Process Technology V: 20-22 September 1999 Santa Clara, California (Proceedings of Spie, Volume 3874) - Softcover

Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers; Solid State Technology (Organization)

 
9780819434715: Micromachining and Microfabrication Process Technology V: 20-22 September 1999 Santa Clara, California (Proceedings of Spie, Volume 3874)
Softcover
ISBN 10: 081943471X ISBN 13: 9780819434715
Verlag: SPIE Press, 1999

Inhaltsangabe

A selection of 45 papers on the process technology of microfabrication and micromachining.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
SPIE Press
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
081943471X
ISBN 13 
9780819434715
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
434
Herausgeber
Smith James H., Karam Jean-Michel
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar

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