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Inhaltsangabe
The IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) is one of the industry's premier meetings, focusing on interdisciplinary research topics in the field of micro-electro mechanical devices and systems, fabricated on the micrometer to millimeter scale.
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The Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, IEEE, 2000
Verlag:
Institute of Electrical & Electronics Enginee, 2000
ISBN 10: 0780352734
ISBN 13: 9780780352735
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