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Inhaltsangabe
This volume is devoted to consideration of the use of surface, thin film and interface characterization tools in support of silicon-based semiconductor processing. Each chapter treats a type of film used in silicon devices and discusses typical problems seen throughout that film's history, including characterization tools which are most effectively used in clarifying and solving those problems.
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Reseña del editor
This volume is devoted to consideration of the use of surface, thin film and interface characterization tools in support of silicon-based semiconductor processing. Each chapter treats a type of film used in silicon devices and discusses typical problems seen throughout that film's history, including characterization tools which are most effectively used in clarifying and solving those problems.
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- VerlagButterworth-Heinemann Ltd
- Erscheinungsdatum1993
- ISBN 10 0750691727
- ISBN 13 9780750691727
- EinbandTapa dura
- SpracheEnglisch
- Anzahl der Seiten250
- Kontakt zum HerstellerNicht verfügbar
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