Plasma Etching: An Introduction (Plasma : Materials Interactions) - Hardcover

 
9780124693708: Plasma Etching: An Introduction (Plasma : Materials Interactions)
Hardcover
ISBN 10: 0124693709 ISBN 13: 9780124693708
Verlag: Academic Press, 1989

Inhaltsangabe

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.

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Verlag
Academic Press
Erscheinungsdatum
1989
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0124693709
ISBN 13 
9780124693708
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
476
Herausgeber
Manos Dennis M., Flamm Daniel L.
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Nicht verfügbar
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